





SCS-30Wシリーズ
屋内
特徴
15~25℃の温度帯で高精度な温調が可能な高冷却能力チラーです。
仕様
冷却能力:70.0kW
使用温度帯:15℃~25℃
温度制御精度:±1.5
参考寸法(幅×奥行×高さ):1500mm×1080mm×1725mm
採用実績
半導体製造装置






特徴
15~25℃の温度帯で高精度な温調が可能な高冷却能力チラーです。
仕様
冷却能力:70.0kW
使用温度帯:15℃~25℃
温度制御精度:±1.5
参考寸法(幅×奥行×高さ):1500mm×1080mm×1725mm
採用実績
半導体製造装置






特徴
15~25℃の温度帯で高精度な温調が可能な水冷式チラーです。インバーター制御による省エネ運転が可能です。
仕様
冷却能力:4.3kW~18kW
使用温度帯:15℃~25℃
温度制御精度:±0.2
参考寸法(幅×奥行×高さ):670mm×806mm×1545mm
採用実績
医療機器
加工機


特徴
10~80℃の温度帯で高精度な温調が可能な水冷式チラーです。1台で2系統へ供給可能な2チャンネル仕様です。純水対応仕様。
仕様
冷却能力:2.32kW
使用温度帯:10℃~80℃
温度制御精度:±0.2
参考寸法(幅×奥行×高さ):675mm×735mm×1440mm
採用実績
半導体製造装置






特徴
0~50℃の温度帯で高精度な温調が可能な水冷式チラーです。1台で2系統へ供給可能な2チャンネル仕様です。
仕様
冷却能力:0.4~6.0kW
使用温度帯:0℃~50℃
温度制御精度:±0.2
参考寸法(幅×奥行×高さ):770mm×1000mm×1905mm
採用実績
半導体製造装置