







SCS-6RHEWD
屋内
特徴
1台で2系統へ供給可能な2チャンネル仕様です。マイナス温度帯、高温度帯における高精度温調性能を実現しています。
仕様
冷却能力:6.0kW
使用温度帯:-15℃~40℃(CH1)
40℃~80℃(CH2)
温度制御精度:±0.2
参考寸法(幅×奥行×高さ):775mm×1009mm×1904mm
採用実績
半導体製造装置








特徴
1台で2系統へ供給可能な2チャンネル仕様です。マイナス温度帯、高温度帯における高精度温調性能を実現しています。
仕様
冷却能力:6.0kW
使用温度帯:-15℃~40℃(CH1)
40℃~80℃(CH2)
温度制御精度:±0.2
参考寸法(幅×奥行×高さ):775mm×1009mm×1904mm
採用実績
半導体製造装置