水冷チラー(低温)
~10℃

SCS-6RHEWD 屋内

特徴

1台で2系統へ供給可能な2チャンネル仕様です。マイナス温度帯、高温度帯における高精度温調性能を実現しています。

仕様

冷却能力:6.0kW
使用温度帯:-15℃~40℃(CH1)
      40℃~80℃(CH2)
温度制御精度:±0.2
参考寸法(幅×奥行×高さ):775mm×1009mm×1904mm

採用実績

半導体製造装置

その他のチラー製品