水冷チラー（高温）
30℃～

特徴

最適な省エネ運転と高精度制御を実現した半導体プロセス専用チラーです。常温モデルでノンフロン・低GWP冷媒にも対応します。

仕様

冷却能力：5.0㎾
使用温度帯：5℃～60℃
温度制御精度：±0.1
参考寸法(幅×奥行×高さ)：270mm×910mm×1414mm

特徴

10～80℃の温度帯で高精度な温調が可能な水冷式チラーです。1台で2系統へ供給可能な2チャンネル仕様です。純水対応仕様。

仕様

冷却能力：2.32kW
使用温度帯：10℃～80℃
温度制御精度：±0.2
参考寸法(幅×奥行×高さ)：675mm×735mm×1440mm

特徴

0～50℃の温度帯で高精度な温調が可能な水冷式チラーです。1台で2系統へ供給可能な2チャンネル仕様です。

仕様

冷却能力：0.4～6.0kW
使用温度帯：0℃～50℃
温度制御精度：±0.2
参考寸法(幅×奥行×高さ)：770mm×1000mm×1905mm