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製品情報

半導体関係

熱交換式チラー

熱交換式チラー

熱交換式チラー
ヒートエクスチェンジャー

特徴

  • 冷凍機を搭載せず温調が可能。
  • 水と水のシンプルな冷却装置。
  • オプションで純水仕様対応可能、SEMI規格に準拠した通信仕様対応可能。

仕様内容

冷却能力
2KW〜70KW 50/60Hz
使用温度
+20℃~90℃
温度精度
±1.5℃

恒温水循環装置

恒温水循環装置
恒温水循環装置
恒温水循環装置

恒温水循環装置
デュアルチラー

特徴

  • 1台のチラーに数系統の冷却チャンネル搭載が可能。
  • 設置場所に適した省スペース化を再現。
  • 使用温度が多彩
    お客様のご希望に合わせて-40℃~+80℃まで設計、製造いたします。
  • 冷凍機インバータ制御採用
    スクロールコンプレッサの運転周波数を変化させることで、負荷にあった最適運転となり、消費電力を抑えることが可能となります。
  • 各チャンネルを独立構造として設計
    小型、大型2種類のチャンネルユニットを組み合わせることで、幅広い仕様の対応が可能となります。
    (冷却能力、必要チャンネル数に応じた組み合わせが可能)
  • メンテナンス性を考慮した設計
    機械構成部品のワンユニット化
    故障が発生した際、チャンネル個々での入れ替えが可能になりました。
    また故障時にチラー入れ替えなどは不用なためダウンタイムの短縮化が可能です。

仕様内容

冷却能力
2KW ~70KW 50/60Hz
使用温度
–40℃~+80℃
温度精度
±0.5℃