新発売のお知らせ「半導体プロセス専用高性能チラー 常温モデル」
このたび、新たに半導体プロセス専用の高性能チラー「SCS-105Wシリーズ（常温モデル）」を発売いたしました。
本製品は、半導体製造装置向けに開発された高性能チラーであり、
最適な省エネ運転と高精度な液温制御を実現しています。
さらに、地球温暖化対策に配慮し、ノンフロン冷媒モデルおよび低GWP冷媒モデルをご用意しております。
特徴
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1.最適省エネ運転
圧縮機インバーター制御に加え、独自の低負荷容量制御を採用
運転状況に応じた最適制御により、省エネルギー運転を実現します。 -
2.冷媒規制（地球温暖化）対応
環境負荷低減に配慮し、ノンフロン冷媒モデルおよび低GWP冷媒モデルの2種類をご用意しております。 -
3.連結2chにも対応
幅270㎜のスリム設計により、省スペースでの設置が可能です。
連結2ch仕様にも対応し、限られた設置スペースにも柔軟に対応します。 -
4.高精度液温制御
負荷変動をすばやくキャッチし、液温が変化する前に冷媒能力を制御する独自の技術を採用
高精度な液温制御を実現します。
用途例
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・パワー半導体のドライエッチング
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・プラズマCVD装置
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・その他半導体プロセス装置
詳細につきましては、お気軽にお問い合わせください。
仕様
| 製品名 | 半導体プロセス専用 高性能チラー（常温モデル） |
|---|---|
| 型番 | SCS-105Wシリーズ |
| 参考寸法(幅×奥行×高さ) | 270mm×910mm×1414mm |
| 冷却能力 | 5.0kW |